
在半導體制造、食品保鮮、化工合成等行業中,高純度氮氣與惰性氣體(如氬氣、氦氣)是不可huo缺的工藝介質。然而,即便是微量的水分,也可能導致產品氧化、催化劑失活或工藝偏差。因此,在制氮機或惰性氣體發生器出口對氣體露點進行在線監測,已成為保障氣體干燥度符合工藝要求的核心環節。英國肖氏(SHAW)推出的SUPER-DEW3在線露點儀,正是為這一場景量身打造的可靠方案。

SUPER-DEW3搭載SHAW超高電容氧化鋁傳感器,整體露點精度達±2°C(±3.6°F),重復性優于±0.3°C,分辨率高達0.1°C,能夠精準捕捉氣體中微量水分的變化。 量程覆蓋-100°C至+20°C全范圍,提供紫色(P)、銀色(S)、灰色(G)、紅色(R)、藍色(BL)五種可選傳感器,其中紅色(R)和銀色(S)量程專為-80°C至-20°C、0至1000 ppm(v)的高純氣體檢測設計,完mei匹配氮氣與惰性氣體的干燥度要求。
儀器標配隔離的4-20 mA線性模擬輸出,量程可在傳感器全范圍內自由配置,便于接入DCS或PLC系統實現集中管控。 兩個wan全可編程的報警繼電器可獨立設置,超過設定點僅0.1°C即觸發報警,在240V交流電下額定電流10A,一旦出口露點超標便立即報警,防止不合格氣體流入下游工藝。
在PSA制氮機出口處,SUPER-DEW3可實時監測氮氣露點是否維持在-40°C至-60°C的工藝要求范圍內。當分子篩吸附性能下降、出口水分升高時,報警繼電器迅速動作,操作人員可及時切換備用機組或啟動再生程序,避免濕氮進入半導體晶圓清洗或食品充氮包裝等敏感環節。
在氬氣生產中,由于惰性氣體廣泛用于焊接保護和金屬冶煉,對水分極為敏感。SUPER-DEW3的響應時間短——干到濕小于20秒,濕至干小于120秒,能夠快速反映氣體干燥狀態的變化。 加上僅5秒的預熱時間,幾乎實現開機即測,大幅提升了生產節拍。
值得一提的是,SUPER-DEW3支持儀表與傳感器距離超過1000米,儀表可安于中央控制室,傳感器直接安裝在制氮機出口管道上,部署靈活且互不干擾。
SUPER-DEW3以高精度、快響應和強報警功能,為氮氣與惰性氣體的生產質量筑起了一道可靠的水分防線,是氣體純化工藝中值得信賴的在線監測伙伴